Vidinis plokštės sluoksnis yra pagrindinė visos plokštės architektūra, o jos gamybos proceso kokybė tiesiogiai lemia plokštės elektrines charakteristikas, stabilumą ir patikimumą. Nuolat tobulinant elektroninius gaminius siekiant sumažinti ir padidinti našumą, keliami griežtesni reikalavimai gamybos tikslumui ir vidinių grandinių plokščių sluoksnių kokybei.
Pjovimas: tikslus dydis padeda pagrindą
Pjovimas yra vidinio kontūro gamybos pradžios procesas. Darbuotojai išpjauna reikalavimus atitinkančią darbo lentą iš standartinės specifikacijos variu{1}}apkaltos plokštės, atsižvelgdami į iš anksto suplanuotą darbo dydį ir remdamiesi Gerber. Šis žingsnis reikalauja itin didelio matmenų tikslumo, nes visi tolesni apdorojimo etapai priklauso nuo pjovimo dydžio. Jei matmenų nuokrypis yra per didelis, gali kilti rimtų problemų, pvz., vidinio sluoksnio grandinės išdėstymo nuokrypis ir tarpsluoksnių nesutapimas spaudžiant kelių sluoksnių plokštę. Kalbant apie pjovimo metodus, dažnai naudojamos didelio- tikslumo CNC pjovimo staklės, o pjovimo įrankių pasirinkimas taip pat labai svarbus. Jį reikia pritaikyti atsižvelgiant į variu-apkaltos plokštės medžiagą ir storį, kad būtų užtikrintas pjovimo briaunos lygumas ir statmenumas, sumažintas įbrėžimas ir atsisluoksniavimas. Tuo tarpu, atsižvelgiant į tolesnius procesus, tokius kaip vaizdo perkėlimas, kraštų šlifavimas ir filė apdorojimas, negalima ignoruoti, o tinkamas apdorojimas gali veiksmingai pagerinti proceso derlių.
Išankstinis apdorojimas: Vario paviršiaus valymas ir šiurkštinimas
Pagrindinė išankstinio -apdirbimo užduotis yra nuvalyti ir šiurkštinti variu dengto laminato paviršių, kad būtų užtikrintas geras sukibimo pagrindas tolesniems procesams. Šis žingsnis gali atrodyti paprastas, tačiau iš tikrųjų jis turi didelę įtaką visos vidinės grandinės gamybos sėkmei arba nesėkmei. Prieš spaudžiant sausą plėvelę, vario paviršių reikia griežtai apdoroti. Dabartiniai vario paviršiaus apdorojimo metodai daugiausia apima valymą šepečiu, smėliasrove ir cheminius metodus.
Šlifavimo ir šlifavimo būdas: nebrangus ir paprastas procesas, tačiau netinka plonoms ir plonoms grandinių plokštėms, dėl kurių gali lengvai pailgėti substratas ir netinka vidinio sluoksnio plonoms plokštėms. Kai teptuko žymė yra per gili, tai gali apsunkinti sausos plėvelės sukibimą ir sukelti dengimo reiškinį, taip pat gali kilti klijų likučių rizika.
Smėliavimo metodas: jis gali pagerinti vario paviršiaus šiurkštumą ir vienodumą nei valant šepečiu, ir turi gerą matmenų stabilumą. Jis gali būti naudojamas plonoms plokštėms ir plonoms vieloms apdoroti. Tačiau jo trūkumas yra tas, kad smėliasrove naudojamos medžiagos yra linkusios prilipti prie lentos paviršiaus, o mašinos priežiūra yra sudėtinga.
Cheminis metodas: naudojant specifinius cheminius tirpalus, kad būtų atliktas vario paviršiaus apdorojimas mikro ėsdinimo būdu, galima suformuoti vienodą ir tinkamą mikro šiurkštumą, tuo pačiu užtikrinant vario paviršiaus švarą, labai pagerinant sausos plėvelės ir vario paviršiaus sukibimą. Faktiškai gaminant cheminio mikroėsdinimo tirpalo koncentracija, temperatūra ir apdorojimo laikas yra griežtai kontroliuojami, kad būtų užtikrintas geriausias apdorojimo efektas.
Slėgio plėvelė: tvirtai priklijuota, kad būtų užtikrintas grafinis perdavimas
Laminavimo procesas yra glaudžiai priklijuoti šviesai jautrią sausą plėvelę ant iš anksto apdoroto vario paviršiaus, o tai tiesiogiai veikia grandinės modelio perdavimo aiškumą ir tikslumą tolesniame ekspozicijos procese. Plonoms tam tikro storio ar didesnio storio plokštėms laminavimo mašina paprastai turi atkreipti ypatingą dėmesį į plėvelės susiraukšlėjimo problemą, kad būtų užtikrinta, jog sausa plėvelė būtų plokščia ir be raukšlių priliptų prie vario paviršiaus. Presavimo temperatūra ir slėgis yra pagrindiniai parametrai, pagal kuriuos sausoje plėvelėje esantys klijai gali visiškai suminkštėti ir taip pasiekti tvirtą sukibimą su vario paviršiumi. Tuo pačiu metu būtina užtikrinti laminavimo mašinos volelio lygumą ir švarumą, kad būtų išvengta prasto sausos plėvelės sukibimo dėl volelio defektų ar paviršiaus nešvarumų, kurie gali turėti įtakos vėlesniam grafinio perdavimo efektui.
Ekspozicija: tikslus vaizdavimas formuoja grandinės prototipą
Ekspozicija yra pagrindinis vidinio sluoksnio grandinių gamybos etapas. Naudojami LDI ekspozicijos aparatai, pagrįsti lazerinio precizinio skenavimo vaizdavimo principu. Įranga tiesiogiai valdo didelės-energijos lazerio spindulį, kuris projektuojamas ant sausos plėvelės paviršiaus pagal grandinės duomenis. Veikiant lazerio energijai, sausoje plėvelėje vyksta fotocheminė reakcija, o grandinės raštas labai tiksliai „išgraviruojamas“ ant sausos plokštės plėvelės, užbaigiant grandinės rašto perdavimą. Šio proceso metu LDI ekspozicijos mašinos lazerio tikslumas, energijos stabilumas ir platformos padėties nustatymo tikslumas yra labai svarbūs: lazerio spindulio tikslumas lemia minimalų grandinės linijos plotį, o energijos stabilumas yra būtinas, kad būtų užtikrintas vienodas sausos plėvelės jautrumas ir išvengta vietinio nepakankamo ar per didelio eksponavimo; Platforma turi tiksliai nešti plokštę, užtikrinti tikslią santykinę padėtį tarp lazerinio nuskaitymo ir plokštės bei garantuoti visos plokštės grandinės modelio perdavimo nuoseklumą. Be to, reikia pritaikyti aplinkos temperatūrą ir drėgmę, taip pat sausos plėvelės šviesai jautrias charakteristikas, kad grandinės grafika būtų aiški ir tikslumas atitiktų standartus, taip būtų sudarytas aukštos kokybės pagrindas tolesniam ėsdinimo procesui ir išvengta tokių defektų kaip grandinės plonėjimas ir trumpieji jungimai dėl ekspozicijos nukrypimų.
ėsdinimas: tikslus vario folijos pertekliaus pašalinimas
ėsdinimo procesu siekiama pašalinti vario foliją, kuri nebuvo apsaugota sausa plėvele, paliekant tikslias grandinės linijas. Šiuo metu pramonėje dažniausiai naudojami ėsdinimo cheminiai tirpalai yra rūgštinis vario chlorido ėsdinimo tirpalas ir šarminio amoniako ėsdinimo tirpalas. Vidinio sluoksnio procese rūgštinis ėsdinimo tirpalas dažniausiai naudojamas dėl sausos plėvelės arba rašalo kaip anti-ėsdinimo sluoksnis. Odinimo tirpalo koncentracija, temperatūra, ėsdinimo laikas ir purškimo slėgis yra visi parametrai, kuriuos reikia griežtai kontroliuoti. Tiksliai kontroliuojant šiuos parametrus, užtikrinamas tolygus ir stabilus ėsdinimo procesas, todėl grandinės šoninės sienelės yra tiesios, užtikrinamas grandinės tikslumas ir kokybė bei išvengiama tokių defektų kaip plonėjimas, trumpasis jungimas ar atviros grandinės.
Gręžimas: tikslus padėties nustatymas ir sujungimas tarp sluoksnių
Gręžimo procesas yra išgręžti padėties nustatymo skyles tarpsluoksnių išlyginimui ir elektros prijungimui pagal reikalavimus, kai bus baigtas vidinio sluoksnio grandinės ėsdinimas. Šių padėties nustatymo angų padėties tikslumas tiesiogiai veikia tarpsluoksnių išlygiavimo tikslumą daugiasluoksnės plokštės laminavimo metu ir vėlesnių elektros jungčių patikimumą. Gręžimo įrangos tikslumas ir grąžtų kokybė yra pagrindiniai veiksniai. Gręžimo metu būtina užtikrinti grąžto vertikalumą ir štampavimo jėgos stabilumą, išvengti problemų, tokių kaip skylės sienelės deformacija ir pernelyg didelių įtrūkimų, atsirandančių dėl grąžto pasvirimo ar netolygaus slėgio, ir sudaryti gerą pagrindą tolesniam daugiasluoksnės plokštės presavimui ir elektros prijungimui.